[实用新型]一种激光干涉测角光路

摘要

本实用新型涉及几何量计量技术，具体公开了一种激光干涉测角光路。包括空心角隅棱镜、平面反射镜组和偏振分光棱镜，空心角隅棱镜共有两块，位于同一高度；平面反射镜组包括三块平面反射镜。空心角隅棱镜保证了激光传播的一致性，配合反射镜使得光路内激光偏振态保持一致，并简化了光路结构，克服了影响高精度干涉测量的因素，因而保证了激光小角度测量装置的数据精度和稳定性。

主权项

一种激光干涉测角光路，包括空心角隅棱镜、平面反射镜组和偏振分光棱镜（6），所述的空心角隅棱镜共有两块，第一空心角隅棱镜（1）和第二空心角隅棱镜（2），两者位于同一高度；所述的平面反射镜组包括三块平面反射镜，第一平面反射镜（3）、第二平面反射镜（4）和第三平面反射镜（5），第一平面反射镜（3）位于第一空心角隅棱镜（1）正下方，第二平面反射镜（4）位于第二空心角隅棱镜（2）的正下方，第三平面反射镜（5）与第一平面反射镜（3）位于同一水平高度，且与第一平面反射镜（3）平行；所述的偏振分光棱镜（6）位于第三平面反射镜（5）的正下方，且位于第二平面反射镜（4）的反射光路上。