[实用新型]MOCVD过滤装置有效
| 申请号： | 201320559499.0 | 申请日： | 2013-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN203469679U | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 陈建荣;王新阳;朱国胜 | 申请（专利权）人： | 冠铨（山东）光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/00 | 分类号： | B01D46/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 272000 山东省济宁市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | OCVD过滤装置，由前盖、滤网层、壳体、排气口、后盖、进气口、检修孔、滤芯组成，其特征是壳体的前端设置前盖，壳体的后端设置后盖，前盖的中部设置进气口，壳体的后部设置排气口，壳体的内部设置滤芯，壳体的前部设置滤网层，滤网层的下侧设置检修孔，本实用新型的有益效果是MOCVD过滤装置的滤芯使用周期较长，生产成本较低，而且可有效提高LED外延片的生长产能。 | ||
| 搜索关键词： | mocvd 过滤 装置 | ||
【主权项】：
MOCVD过滤装置，由前盖（1）、滤网层（2）、壳体（3）、排气口（4）、后盖（5）、进气口（6）、检修孔（7）、滤芯（8）组成，其特征是壳体（3）的前端设置前盖（1），壳体（3）的后端设置后盖（5），前盖（1）的中部设置进气口（6），壳体（3）的后部设置排气口（4），壳体（3）的内部设置滤芯（8），壳体（3）的前部设置滤网层（2），滤网层（2）的下侧设置检修孔（7）。
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