[实用新型]一种用于改善单晶径向氧梯度的热屏装置有效
申请号: | 201320536183.X | 申请日: | 2013-08-30 |
公开(公告)号: | CN203474954U | 公开(公告)日: | 2014-03-12 |
发明(设计)人: | 张学强;黄永恩;范全东 | 申请(专利权)人: | 宁晋赛美港龙电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 石家庄冀科专利商标事务所有限公司 13108 | 代理人: | 李羡民;周晓萍 |
地址: | 055550 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 种用于改善单晶径向氧梯度的热屏装置,用于解决传统热屏屏蔽热辐射效率低下,不能充分改善熔体界面的温度梯度问题。所述装置包括固定端、隔热壁和导向平板,所述隔热壁为上大下小的筒状,所述导向平板为水平设置的环装板,导向平板固接在隔热壁下端。采用本实用新型的有益效果是:1、拉晶过程中增强了管道效应的利用率;2、齿形环之间形成环流,增加液面上方的负压值,加速SiO的溢出效率,降低了硅溶液中的氧含量,改善了硅单晶中的氧含量梯度即浓度值;3、充分改善了熔硅界面的温度梯度,对成晶效率、界面平坦度、杂质的径向均匀性等各项参数均有明显改善效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 改善 径向 梯度 装置 | ||
【主权项】:
一种用于改善单晶径向氧梯度的热屏装置,其特征在于,它包括固定端(1)、隔热壁(2)和导向平板(3),所述隔热壁为上大下小的筒状,所述导向平板为水平设置的环装板,导向平板固接在隔热壁下端。
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