[实用新型]三维振镜激光蚀刻机有效
| 申请号： | 201320530401.9 | 申请日： | 2013-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN203437812U | 公开（公告）日： | 2014-02-19 |
| 发明（设计）人： | 胡兵;应花山 | 申请（专利权）人： | 武汉拓普银光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/046 | 分类号： | B23K26/046;B23K26/38 |
| 代理公司： | 武汉开元知识产权代理有限公司 42104 | 代理人： | 黄行军 |
| 地址： | 430205 湖北省武汉市东湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及激光切割技术领域，具体涉及一种三维振镜激光蚀刻机。它包括机架、工控机、显示器、激光发生系统、X-Y振镜、动态聚焦振镜、真空吸附平台、CCD定位系统、X轴运动系统、Y轴运动系统和Z轴运动系统，所述动态聚焦振镜安装在Z轴运动系统上位于激光发生系统与X-Y振镜之间，所述动态聚焦振镜与X-Y振镜组合形成三维动态聚焦振镜扫描系统。本实用新型相对于现有蚀刻机，使用了三维动态聚焦激光振镜扫描系统，可以在加工大幅面的同时保证光斑质量，单次加工300×300mm幅面线宽可控制在35μm以内。 | ||
| 搜索关键词： | 三维 激光 蚀刻 | ||
【主权项】：
一种三维振镜激光蚀刻机，包括机架、工控机、显示器、激光发生系统、X‑Y振镜、真空吸附平台、CCD定位系统、X轴运动系统、Y轴运动系统和Z轴运动系统，所述工控机、显示器、激光发生系统、X轴运动系统、Y轴运动系统和Z轴运动系统都安装在机架上；所述真空吸附平台由X轴运动系统、Y轴运动系统驱动，真空吸附平台上吸附有ITO薄膜；CCD定位系统固定在Z轴运动系统底部与工控机电连接，所述X‑Y振镜安装在Z轴运动系统上，其特征在于：还包括动态聚焦振镜，所述动态聚焦振镜安装在Z轴运动系统上位于激光发生系统与X‑Y振镜之间，所述动态聚焦振镜与X‑Y振镜组合形成三维动态聚焦振镜扫描系统。
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