[实用新型]应用于MOCVD的双波长比色测温及校温装置

摘要

本实用新型公开了一种应用于MOCVD的双波长比色测温及校温装置，包括红外辐射探头盒体，特征是：在红外辐射探头盒体内的上分光片腔和下分光片腔分别斜向放置有二向分光滤光片和蓝宝石片；在上出光孔的上方设有上滤光片和上光电探测器，在左出光孔的右边设有左滤光片和左光电探测器，在右进光孔的右边设有激光器。二向分光滤光片由第一窄带滤光片和第二窄带滤光片构成，其中：第一窄带滤光片的中心波长为940nm，第二窄带滤光片的中心波长为1550nm。本实用新型既能测膜厚又能实时监控MOCVD外延片生长时的表面温度，还能利用标准灯将一台MOCVD的温度标准传递给多台MOCVD，对日后MOCVD的设备国产化降低成本有十分显著的帮助。

主权项

一种应用于MOCVD的双波长比色测温及校温装置，包括“十”字形的红外辐射探头盒体，特征是：在红外辐射探头盒体内的中央设有上下贯通的上分光片腔和下分光片腔，在下分光片腔中斜向放置有与水平正方向呈45度夹角的蓝宝石片，在上分光片腔中斜向放置有与水平正方向呈135度夹角的二向分光滤光片；在红外辐射探头盒体内的上面和左面分别设有与上分光片腔相通的上出光孔和左出光孔，在红外辐射探头盒体内的下面和右面分别设有与下分光片腔相通的下进光孔和右进光孔，上出光孔和下进光孔在竖向的同一直线上，左出光孔和右进光孔均在水平方向上且上下平行，左出光孔、右进光孔均与上出光孔、下进光孔垂直，在红外辐射探头盒体内的上端、上出光孔的上方设有上滤光片和上光电探测器，在红外辐射探头盒体内的左端、左出光孔的右边设有左滤光片和左光电探测器，在红外辐射探头盒体内的右端、右进光孔的右边设有激光器。