[实用新型]激光异步扫描热波成像系统

摘要

本实用新型涉及一种激光异步扫描热波成像系统，系统包括高功率激光器、光束整形装置、光束偏转装置、红外热像仪、数据处理单元、扫描控制单元等。系统采用高功率激光束，由光束偏转装置对样品的表面进行扫描，实现热激励。通过扫描控制单元，使得激光束的帧扫描速率异步于热像仪的帧扫描速率。红外热像仪采集一系列随时间变化的热波图像，每帧图像中各像素的热波信号与热激励之间具有不同的延迟，经过延迟量修正和数值处理，可以对样品的内部缺陷进行分析。

主权项

一种激光异步扫描热波成像系统，其特征在于，所述系统包括：激光器（21），所述激光器（21）用于在被测物体（28）表面激励热波；光束整形装置（26），所述光束整形装置（26）调整激光束（27）在被测物体（28）表面形成的激光焦斑（30）的形状；光束偏转装置（25），所述光束偏转装置（25）用于偏转激光束（27）对被测物体（28）表面进行扫描；热像仪（22），所述热像仪（22）包括红外阵列探测器（40），用于采集被测物体（28）表面的热波图像；数据处理单元（20），所述数据处理单元（20）用于对所述热像仪（22）采集的热波图像进行处理分析；扫描控制单元（24），所述扫描控制单元（24）控制所述光束偏转装置（25），使得所述激光焦斑（30）在所述红外阵列探测器（40）上的投影的扫描速率异步于所述红外阵列探测器（40）的信号扫描。