[实用新型]一种连续式真空镀膜线的真空腔室翻板阀

摘要

一种连续式真空镀膜线的真空腔室翻板阀，其特征在于：包括：一阀口；一阀板；一主传动轴，转动支承于真空腔室壁面上；一连杆，其第一端与主传动轴固定连接，其第二端伸至阀板的背面侧；一枢轴，将阀板与连杆的第二端枢轴连接；一倾角调整装置，由至少一对顶销机构组成，顶销机构包括销孔、滑动销、弹性元件以及螺钉；销孔设于连杆的第二端上，滑动销穿设于销孔中，其朝阀板背面的一端上设弹性元件，其另一端处设所述螺钉，以此螺钉顶压滑动销，滑动销端部的弹性元件抵压阀板的背面；一对顶销机构中的两个顶销机构在连杆长度方向上分列于枢轴的两侧；一旋转驱动机构，驱动主传动轴旋转。本实用新型开关动作速度快、工作可靠、并且密封效果有保证。

主权项

一种连续式真空镀膜线的真空腔室翻板阀，其特征在于：包括：一阀口（1），该阀口（1）为开设于真空腔室壁面（2）上的物料传送口；一阀板（3），以正面朝阀口（1）并封盖于阀口（1）上，阀板（3）正面与真空腔室壁面（2）之间绕阀口（1）周向设有密封圈（4）；一主传动轴（5），转动支承于真空腔室壁面（2）上，且位于阀板（3）的侧旁；一连杆（6），其第一端与主传动轴（5）固定连接，其第二端伸至阀板（3）的背面侧；一枢轴（7），其轴线与主传动轴（5）的轴线相平行，且由该枢轴（7）将阀板（3）与连杆（6）的第二端枢轴连接，以使阀板（3）可绕枢轴（7）转动；一倾角调整装置（8），由至少一对顶销机构（9）组成，所述每一顶销机构（9）包括销孔（10）、滑动销（11）、弹性元件（12）以及螺钉（13）；所述销孔（10）朝向阀板（3）的背面开设于连杆（6）的第二端上，所述滑动销（11）滑动设于销孔（10）中，其朝阀板（3）背面的一端上设所述弹性元件（12），其另一端处设所述螺钉（13），螺钉（13）与销孔（10）螺纹连接，以此螺钉（13）顶压滑动销（11），使滑动销（11）端部的弹性元件（12）抵压阀板（3）的背面；并且，所述一对顶销机构（9）中的两个顶销机构（9）在连杆长度方向上分列于枢轴（7）的两侧；一旋转驱动机构，驱动主传动轴旋转。