[实用新型]一种用于分析仪器的智能型气体流量控制系统

摘要

本实用新型公开一种用于分析仪器的智能型气体流量控制系统，减压阀与气源的出口相连接，入口精密压力传感器安装在减压阀的出口与二位二通电磁阀之间，二位二通电磁阀与调节阀相连接，出口精密压力传感器安装在调节阀与气路出口之间，入口精密压力传感器和出口精密压力传感器分别与控制单元相连接，向控制单元传送测得的实时压力值，控制单元与二位二通电磁阀相连接；二位二通电磁阀与调节阀的数目相同，分别为多组，以并联的形式连接在调节阀与气路出口之间，每一二位二通电磁阀控制相应的调节阀的打开与关闭；控制单元分别与每一二位二通电磁阀相连接，通过控制某一组或某几组电磁阀的打开或关闭控制气路出口的流量输出。

主权项

一种用于分析仪器的智能型气体流量控制系统，其特征在于，包括：气源、减压阀、入口精密压力传感器、二位二通电磁阀、调节阀、出口精密压力传感器、气路出口和控制器，其中：所述减压阀与所述气源的出口相连接，所述入口精密压力传感器安装在所述减压阀的出口与所述二位二通电磁阀之间，所述二位二通电磁阀与所述调节阀相连接，所述出口精密压力传感器安装在所述调节阀与所述气路出口之间，所述入口精密压力传感器和所述出口精密压力传感器分别与所述控制单元相连接，向所述控制单元传送测得的实时压力值，所述控制单元与所述二位二通电磁阀相连接；所述二位二通电磁阀与所述调节阀的数目相同，分别为多组，并且以并联的形式连接在所述调节阀与所述气路出口之间，每一所述二位二通电磁阀控制相应的调节阀的打开与关闭，各组打开的调节阀的流量的叠加即为整体输出的气路流量；所述控制单元分别与每一所述二位二通电磁阀相连接，通过控制某一组或某几组电磁阀的打开或关闭控制所述气路出口的流量输出。