[实用新型]石墨载板及具有其的石墨载板组件

摘要

本实用新型提供了一种石墨载板及具有其的石墨载板组件。其中，石墨载板具有对应设置的上板面和下板面（11），石墨载板还具有多个与硅片配合的通孔（12），下板面（11）上设置有容纳下垫块的第一通槽（13），两个相邻通孔（12）之间和/或多个通孔（12）中的靠近下板面（11）的边沿的通孔（12）与该通孔（12）对应的边沿之间设置有第一通槽（13）。采用本实用新型的技术方案进行镀膜工艺时，降低硅片的卡点面积，提高了硅片的质量。

主权项

一种石墨载板，具有对应设置的上板面和下板面（11），所述石墨载板还具有多个与硅片配合的通孔（12），其特征在于，所述下板面（11）上设置有容纳下垫块的第一通槽（13），两个相邻所述通孔（12）之间和/或多个所述通孔（12）中的靠近所述下板面（11）的边沿的通孔（12）与该通孔（12）对应的所述边沿之间设置有所述第一通槽（13）。