[实用新型]一种用于坩埚的喷涂装置

摘要

本实用新型公开了一种用于坩埚的喷涂装置，包括储存罐、输送管和喷头部件；储存罐内具有待喷涂的液体，输送管连通储存罐和喷头部件，喷头部件能够均匀的喷涂液体；还包括超声波装置，超声波装置包裹输送管。喷涂坩埚时，先将搅拌后的氮化硅与纯水的混合液装入储存罐，混合液经输送管传送至喷头部件，输送管的一段由超声波装置包裹，经过输送管的混合液均经过超声波的辐射。经过超声波的作用，能够将混合液内团聚的颗粒分散，喷头部件喷出的混合液中的颗粒度减小，涂层更加致密、均匀，能够在坩埚的表面形成均匀的隔膜，降低硅锭粘埚的几率。

主权项

一种用于坩埚的喷涂装置，包括储存罐（1）、输送管（2）和喷头部件（3）；所述储存罐（1）内具有待喷涂的液体，所述输送管（2）连通所述储存罐（1）和所述喷头部件（3），所述喷头部件（3）能够均匀的喷涂所述液体；其特征在于，还包括超声波装置（4），所述超声波装置（4）包裹所述输送管（2）。