[实用新型]一种用于聚焦离子束制样的多功能预倾样品台

摘要

本实用新型涉及一种在扫描电镜上用于聚焦离子束制样的多功能预倾样品台。该样品台包括水平样品台面、倾斜样品台面、可调节式夹具和底部螺丝；所述的倾斜样品台面与水平样品台面夹角为52°，倾斜样品台面上端设有凹槽，下端有一凸起处；可调节式夹具第一夹片大小与倾斜样品台面上端的凹槽匹配，开有螺纹通孔，第二夹片与调节固定螺丝相连接；底部螺丝与扫描电镜样品室台面螺孔相匹配，夹具可根据试样厚度大小进行前后调节。本实用新型设计合理，使用安全，装卸方便，且样品放置稳定性好，易于操作使用，适用于常规样品和不规则样品，应用范围广泛。

主权项

一种用于聚焦离子束制样的多功能预倾样品台，其特征在于：该样品台包括水平样品台面（1）、倾斜样品台面（3）、可调节式夹具（5）和底部螺丝（6），所述的水平样品台面上设有小孔（2），所述的倾斜样品台面（3）与水平样品台面（1）的夹角为52°，倾斜样品台面（3）上端设有凹槽（4），下端有一凸起处，可调节式夹具（5）设置在倾斜样品台面（3）上，可调节式夹具（5）的第一夹片（5‑1）与倾斜样品台面（3）上的凹槽相匹配，底部螺丝（6）与扫描电镜样品室台面螺孔相匹配。