[实用新型]一种新型清洗用花篮有效
| 申请号： | 201320401910.1 | 申请日： | 2013-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN203339127U | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 胥大鹏;陈新军;刘爱军;李晓建;邹治旻 | 申请（专利权）人： | 无锡隆基硅材料有限公司;西安隆基硅材料股份有限公司;宁夏隆基硅材料有限公司;银川隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;B08B13/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公布了一种新型清洗用花篮，包括侧板，不锈钢杆和定位销柱，所述侧板为两个，平行放置，所述不锈钢杆通过分布在侧板上的定位孔固定，所述定位销柱固定在不锈钢杆上。本实用新型结构简单，安装方便，便于清洗硅片和调整，随意更改清洗硅片的数量，适应两种不同规格的硅片，提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 清洗 花篮 | ||
【主权项】：
一种新型清洗用花篮，包括侧板（1），不锈钢杆（2）和定位销柱（3），其特征在于：所述侧板（1）为两个，平行放置，所述不锈钢杆（2）通过分布在侧板（1）上的定位孔（4）固定，所述定位销柱（3）固定在不锈钢杆（2）上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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