[实用新型]多点气氛感测系统

摘要

一种多点气氛感测系统，适于设置在一具有一反应室的热处理机上，该多点气氛感测系统包含：一气体分析装置、多个气体收集装置，及一控制装置。气体分析装置用于分析气体的成分及状态。所述气体收集装置分别连通于该气体分析装置及反应室内不同的位置，并在收到一开启讯号后，自反应室内对应的位置收集气体导引到该气体分析装置进行分析。控制装置逐一地对所述气体收集装置传送开启讯号，进而对反应室内各位置的气体逐一进行分析，达到仅以一气体分析装置即可分析反应室内多个位置的气体的功能。

主权项

一种多点气氛感测系统，适于设置在一热处理机上，该热处理机具有一反应室；其特征在于：该多点气氛感测系统包含一用于分析气体的成分及状态的气体分析装置、多个气体收集装置，及一控制装置，每一气体收集装置包括一风门及一气体收集管，所述风门分别设置于该热处理机上，每一风门具有一进气口，及一出气口，所述出气口分别连通于该气体分析装置，当任一风门接收到一开启讯号，会将该进气口连通于该出气口并维持一开启时间后，再使该进气口不连通于该出气口，每一气体收集管具有一第一端，及一相反于该第一端的第二端，所述第一端分别连通于对应风门的进气口，所述气体收集管的第二端分别位于该反应室内不同位置，该控制装置连接于所述风门，一次对其中一风门传送该开启讯号，使对应的气体收集管经对应的风门的进气口及出气口而连通于该气体分析装置，将该反应室内对应位置的气体导至该气体分析装置进行分析。