[实用新型]一种喷雾燃烧制备薄膜和喷涂图案的设备有效
| 申请号： | 201320347936.2 | 申请日： | 2013-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN203373423U | 公开（公告）日： | 2014-01-01 |
| 发明（设计）人： | 包志豪;李晓冬 | 申请（专利权）人： | 苏州宇豪纳米材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C20/00 | 分类号： | C23C20/00 |
| 代理公司： | 苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙) 32246 | 代理人： | 张一鸣 |
| 地址： | 215107 江苏省苏州市苏州工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种喷雾燃烧制备薄膜和喷涂图案的设备，包括外罩、下平台、衬底、喷雾燃烧装置和抽气装置，外罩内部为沉积室，下平台设置在外罩底部中央，衬底设置在下平台上，喷雾燃烧装置设置在衬底上方，外罩上开有与外罩内部相通的抽气孔，抽气装置与抽气孔相连，抽气装置设置在外罩外，衬底通过移动装置可移动的设置在下平台上；喷雾燃烧装置通过移动调整装置可移动的设置在衬底上方；外罩外设有移动速度控制装置；移动速度控制装置控制移动装置和移动调整装置的移动速度。该设备制备出的薄膜质量好；厚度均匀性能够满足高精度的要求；能够在耐热程度较低的衬底上制备薄膜；还能够在衬底上喷涂形成图案。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 喷雾 燃烧 制备 薄膜 喷涂 图案 设备 | ||
【主权项】：
一种喷雾燃烧制备薄膜和喷涂图案的设备，包括外罩、下平台、衬底、喷雾燃烧装置和抽气装置，所述外罩内部为沉积室，所述下平台设置在外罩底部中央，所述衬底设置在下平台上，所述喷雾燃烧装置设置在衬底上方，所述外罩上开有与外罩内部相通的抽气孔，所述抽气装置与抽气孔相连，所述抽气装置设置在外罩外，其特征在于：所述衬底通过移动装置可移动的设置在下平台上；所述喷雾燃烧装置通过移动调整装置可移动的设置在衬底上方；所述外罩外设有控制装置；所述控制装置控制移动装置和移动调整装置的移动方向和移动速度。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C20-00 通过固态覆层化合物抑或覆层形成化合物悬浮液分解且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C20-02 .镀金属材料
C23C20-06 .镀金属材料以外的无机材料
C23C20-08 ..镀化合物、混合物或固溶体，例如硼化物、碳化物、氮化物
C23C20-04 ..镀金属
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