[实用新型]一种单晶炉分体式均热防尘石墨坩埚

摘要

本实用新型提供了一种单晶炉分体式均热防尘石墨坩埚，包括坩埚主体和坩埚座，坩埚主体放置在坩埚座上，坩埚主体由四块相同的且内壁上设有一层防粘层的坩埚板通过石墨纸封带相互拼接围成，坩埚主体呈锥台形，坩埚主体的顶部设置有石墨环，石墨坩埚还包括有挡尘盖，挡尘盖扣合在石墨环的上方，挡尘盖上开有四个通气孔，每个坩埚板的外壁上盘设螺旋状上升的均热石墨凸纹条。石墨环呈圆环状，石墨环的下端设有环形的内卡沿，坩埚主体的顶部设有与内卡沿相适配的外卡沿。本实用新型解决了传统石墨坩埚各部位温度不均匀和熔炼粉末四处飞扬的问题，克服了传统石墨坩埚一旦上部溅上硅液，必须整个坩埚报废的缺陷，能够广泛适用于石墨坩埚的生产制造。

主权项

一种单晶炉分体式均热防尘石墨坩埚，包括坩埚主体和坩埚座，其特征是：所述坩埚主体放置在所述坩埚座上，所述坩埚主体由四块相同的且内壁上设有一层防粘层的坩埚板通过石墨纸封带相互拼接围成，所述坩埚主体呈锥台形，所述坩埚主体的顶部设置有石墨环，所述石墨坩埚还包括有挡尘盖，所述挡尘盖扣合在所述石墨环的上方，所述挡尘盖上开有四个通气孔，每个所述坩埚板的外壁上盘设螺旋状上升的均热石墨凸纹条。