[实用新型]晶圆固定装置

摘要

本实用新型涉及集成电路芯片处理技术领域，公开了一种晶圆固定装置，包括承载板、限位板和移动板，承载板中间开有圆孔并设置光学玻璃，限位板为半圆环形，限位板固定设置在承载板的第一侧，移动板设置在承载板的第二侧，移动板的内径和限位板的内径相等，在承载板的第二侧设置导向槽和固定部件，移动板通过导向件能够在导向槽内移动，移动板的移动方向为限位板的内圆弧的中点与移动板的内圆弧的中点的连线方向，固定部件能够将移动板固定在某一位置上，限位板和移动板的内圆弧的边缘设有压圈。本实用新型通过侧边压紧方式，使晶圆表面不受损伤。

主权项

一种晶圆固定装置，其特征在于：包括承载板、限位板和移动板，所述承载板中间开有圆孔，在所述圆孔的边缘设有环形放置槽，在所述环形放置槽内设置光学玻璃，所述限位板为半圆环形，所述限位板固定设置在所述承载板的第一侧，所述限位板的内圆弧的弧度小于180度，所述限位板的内圆弧位于所述光学玻璃的上方，所述限位板的内径小于所述圆孔的半径，所述移动板设置在所述承载板的第二侧，所述移动板为半圆环形，所述移动板的内圆弧的弧度小于180度，所述移动板的内圆弧位于所述光学玻璃的上方，所述移动板的内径和所述限位板的内径相等，在所述承载板的第二侧设置导向槽和固定部件，所述移动板通过导向件能够在所述导向槽内移动，所述移动板的移动方向为所述限位板的内圆弧的中点与所述移动板的内圆弧的中点的连线方向，所述固定部件能够将所述移动板固定在某一位置上，所述限位板和所述移动板的内圆弧的边缘设有压圈。