[实用新型]区熔炉CCD实时监控装置

摘要

本实用新型涉及用于区熔炉的观察装置，旨在提供一种区熔炉CCD实时监控装置。该区熔炉CCD实时监控装置包括CCD摄像装置、位移传感器装置和固定支架，所述CCD摄像装置包括反射玻璃、反射玻璃底座、CCD摄像头和CCD摄像头支架，所述位移传感器装置包括位移传感器和滑块导轨。本实用新型CCD摄像头能实时监控拉晶过程中熔区附近的图像，并将图像数据传输到操作终端，位移传感器能精确检测熔区中心位移，CCD摄像头和位移传感器可作为可靠的信息来源将单晶生长参数上传至自动长晶软件，整个装置多采用柔性化配置，能根据需要随意调节CCD摄像头和位移传感器的位置，使用更方便灵活。

主权项

一种区熔炉CCD实时监控装置，包括CCD摄像装置，其特征在于，还包括位移传感器装置和固定支架；所述CCD摄像装置包括反射玻璃、反射玻璃底座、CCD摄像头和CCD摄像头支架；反射玻璃底座包括固定底座和可调安装板，固定底座和可调安装板通过弹簧连接，并安装有至少两颗调节螺钉，反射玻璃固定在可调安装板上；CCD摄像头支架为齿轮式云台，CCD摄像头安装在CCD摄像头支架上；所述位移传感器装置包括位移传感器和滑块导轨，滑块导轨包括固定基座、滑块和调节螺杆，滑块固定在固定基座上并可实现滑动，位移传感器固定在滑块上。