[实用新型]一种四氟化碳反应釜结构

摘要

本实用新型公开一种四氟化碳反应釜结构，水冷反应桥安装在反应釜主体上，水冷反应桥由多根冷水管组成，冷水管的进口与冷却水源进水管连接，冷水管的出口与冷却水源出水管连接，水冷反应桥的上部设置有碳粒层，反应釜主体在碳粒层的下方设置有氟气进口，反应釜主体在碳粒层的上方设置有四氟化碳出口。与现有技术相比，本实用新型提供的四氟化碳反应釜结构，将四氟化碳反应釜内的鼠笼水冷反应桥更换为水冷反应桥后，由于取消了萤石层，杜绝了萤石粉进入四氟化碳总管，确保了四氟化碳出气管路系统的畅通，对提高电槽的运行效率和控制四氟化碳空气指标起到了很大作用，同时降低了操作员工的劳动强度。

主权项

一种四氟化碳反应釜结构，其特征在于，包括反应釜主体和水冷反应桥，所述水冷反应桥安装在所述反应釜主体上，所述水冷反应桥由多根冷水管组成，所述冷水管的进口与冷却水源进水管连接，所述冷水管的出口与冷却水源出水管连接，所述水冷反应桥的上部设置有碳粒层，所述反应釜主体在所述碳粒层的下方设置有氟气进口，所述反应釜主体在所述碳粒层的上方设置有四氟化碳出口。