[实用新型]线形布气机构有效
申请号: | 201320139229.4 | 申请日: | 2013-03-25 |
公开(公告)号: | CN203212644U | 公开(公告)日: | 2013-09-25 |
发明(设计)人: | 朱刚劲;朱刚毅;朱文廓 | 申请(专利权)人: | 肇庆市腾胜真空技术工程有限公司 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455;C23C14/54 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 裘晖 |
地址: | 526060 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开一种线形布气机构,包括由上至下依次连接的上压板、充气板和下压板,充气板上分布有多级充气槽,相邻两级充气槽之间通过气孔连通,第一级充气槽外接气源。本线形布气机构采用中心入气,再通过多层充气槽逐层向充气板两端布气,布气均匀,可较好地保障产品质量;本线形布气机构采用板状结构,通过上压板、充气板和下压板的配合实现密封并且均匀布气,其结构简单,装卸、清洁和维护更方便快捷,可有效避免传统布气机构“膜层进入管内后难以清洗干净,影响设备抽气速率”的现象;本线形布气机构可通过机加工成型,质量保证,可确保充气稳定一致。 | ||
搜索关键词: | 线形 机构 | ||
【主权项】:
线形布气机构,其特征在于,包括由上至下依次连接的上压板、充气板和下压板,充气板上分布有多级充气槽,相邻两级充气槽之间通过气孔连通,第一级充气槽外接气源。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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