[实用新型]线形布气机构有效

专利信息
申请号: 201320139229.4 申请日: 2013-03-25
公开(公告)号: CN203212644U 公开(公告)日: 2013-09-25
发明(设计)人: 朱刚劲;朱刚毅;朱文廓 申请(专利权)人: 肇庆市腾胜真空技术工程有限公司
主分类号: C23C16/455 分类号: C23C16/455;C23C14/54
代理公司: 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 代理人: 裘晖
地址: 526060 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开一种线形布气机构,包括由上至下依次连接的上压板、充气板和下压板,充气板上分布有多级充气槽,相邻两级充气槽之间通过气孔连通,第一级充气槽外接气源。本线形布气机构采用中心入气,再通过多层充气槽逐层向充气板两端布气,布气均匀,可较好地保障产品质量;本线形布气机构采用板状结构,通过上压板、充气板和下压板的配合实现密封并且均匀布气,其结构简单,装卸、清洁和维护更方便快捷,可有效避免传统布气机构“膜层进入管内后难以清洗干净,影响设备抽气速率”的现象;本线形布气机构可通过机加工成型,质量保证,可确保充气稳定一致。
搜索关键词: 线形 机构
【主权项】:
线形布气机构,其特征在于,包括由上至下依次连接的上压板、充气板和下压板,充气板上分布有多级充气槽,相邻两级充气槽之间通过气孔连通,第一级充气槽外接气源。
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