[实用新型]排气装置以及真空设备有效
| 申请号： | 201320120568.8 | 申请日： | 2013-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN203130418U | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 申劲浩;李建兴;何宁 | 申请（专利权）人： | 成都天马微电子有限公司;天马微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | F04B39/00 | 分类号： | F04B39/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 611730 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种排气装置，设置于真空泵与排气管路之间，所述排气装置包括第一口、第二口、用于存储液体的缓存区以及气体传输管，所述缓存区正对所述第一口，所述气体传输管的一端与所述第一口连通，所述气体传输管的另一端与所述第二口连通，所述第一口连接于所述排气管路的下方，所述第二口连接所述真空泵。本实用新型还揭示了一种真空设备，包括真空泵、与所述真空泵相连通的排气管路以及所述的排气装置。本实用新型中的所述排气装置可以防止液体回流进入真空泵，并且可以方便地对液体进行收集和处理。 | ||
| 搜索关键词： | 排气装置 以及 真空设备 | ||
【主权项】：
一种排气装置，设置于真空泵与排气管路之间，其特征在于，所述排气装置包括第一口、第二口、用于存储液体的缓存区以及气体传输管，所述缓存区正对所述第一口，所述气体传输管的一端与所述第一口连通，所述气体传输管的另一端与所述第二口连通，所述第一口连接于所述排气管路的下方，所述第二口连接所述真空泵。
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