[实用新型]用于磁悬浮涡轮分子泵的开关功率放大器

摘要

本实用新型提供用于磁悬浮涡轮分子泵的开关功率放大器，其包括：电流误差信号处理电路；生成并输出两个PWM信号的PWM信号发生电路；光耦隔离驱动电路，生成并输出用于驱动下一级电路中的功率开关管栅极的驱动信号；利用来自光耦隔离驱动电路的栅极驱动信号，分别对各个功率开关管进行控制，由此在负载磁轴承线圈中生成的电流作为待检测电流输出的半桥功率主电路；和电流检测电路，用于检测来自半桥功率主电路的在负载磁轴承线圈中流通的电流的大小，将检测出的电流值作为电流反馈信号输出至电流误差信号处理电路。根据本实用新型，能够提供能提高集成度、可靠性以及能量转换效率的用于磁悬浮涡轮分子泵的开关功率放大器。

主权项

一种用于磁悬浮涡轮分子泵的开关功率放大器，其特征在于，包括：电流误差信号处理电路（1），对输入的电流控制信号和电流反馈信号进行求差运算，对所得到的差值进行比例积分运算后输出至PWM信号发生电路（2）；PWM信号发生电路（2），对来自所述电流误差信号处理电路（1）的信号进行PWM调制处理，生成并输出两个PWM信号（PWM1和PWM2）；光耦隔离驱动电路（3），对所述PWM信号发生电路（2）生成的所述两个PWM信号（PWM1和PWM2）进行光耦隔离，并进行驱动来放大功率，生成并输出用于对下一级电路中的功率开关管（VT1和VT2）的栅极进行驱动的栅极驱动信号（Ug1和Ug2）；半桥功率主电路（4），包括：分别与所述栅极驱动信号（Ug1和Ug2）连接的第一功率开关管（VT1）和第二功率开关管（VT2）、相互串联连接的电流检测电阻（R）和负载磁轴承线圈（L）、以及与所述电流检测电阻（R）连接的第一续流二极管（VD1）和与所述负载磁轴承线圈（L）连接的第二续流二极管（VD2），分别利用来自所述光耦隔离驱动电路（3）的所述栅极驱动信号（Ug1和Ug2），对各个所述功率开关管（VT1和VT2）进行控制，使得所述功率开关管（VT1和VT2）同时导通或者同时关断，由此在所述负载磁轴承线圈（L）中生成的电流作为待检测电流输出；和电流检测电路（5），用于检测来自半桥功率主电路（4）的在所述负载磁轴承线圈（L）中流通的电流的大小，将检测出的电流值作为电流反馈信号输出至所述电流误差信号处理电路（1）。