[实用新型]一种磁瓦罩壳组件内径高度快速检测装置有效
| 申请号： | 201320039468.2 | 申请日： | 2013-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN203083551U | 公开（公告）日： | 2013-07-24 |
| 发明（设计）人： | 陈守亮;杨定伟;陈华轩;王卫林;张乾峰;刘庆威;顾石成 | 申请（专利权）人： | 苏州凯蒂亚半导体制造设备有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/14 | 分类号： | G01B21/14 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 马明渡 |
| 地址： | 215121 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种磁瓦罩壳组件内径高度快速检测装置，其特征在于：包括底座及设于底座上的内径检测部和接触式位移传感器；内径检测部下端固定连接在底座上，上端设有内径检测头，该内径检测头具有刚性的圆形外缘，圆形外缘的直径等于磁瓦罩壳组件中两个磁瓦内弧面所在圆柱形的直径；接触式位移传感器的感测头当接触到磁瓦罩壳组件上的磁瓦的下缘时能够感测到其在竖直方向的位移，该感测头位于内径检测头的旁侧；感测头在竖直方向上位于内径检测头的圆形外缘的下方，或者位于同一水平面；磁瓦罩壳组件上设有卡脚，在该磁瓦罩壳组件相对于内径检测头在竖直方向运动时进行限位，该卡脚与两磁瓦的下缘之间间隔距离。本方案的快速检测装置，快速高效，精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 罩壳 组件 内径 高度 快速 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种磁瓦罩壳组件内径高度快速检测装置，其特征在于：包括底座（1）及设于该底座（1）上的内径检测部（2）和接触式位移传感器（3）；所述内径检测部（2）下端固定连接在底座（1）上，上端设有内径检测头（4），该内径检测头（4）具有刚性的圆形外缘（5），该圆形外缘（5）的直径等于磁瓦罩壳组件（10）中两个磁瓦（6）内弧面所在圆柱形的直径；所述接触式位移传感器（3）的感测头（7）当接触到磁瓦罩壳组件（10）上的磁瓦（6）的下缘时能够感测到其在竖直方向的位移，该感测头（7）位于内径检测头（4）的旁侧，并对应于磁瓦罩壳组件（10）中的磁瓦（6）；所述感测头（7）在竖直方向上位于内径检测头（4）的圆形外缘（5）的下方，或者，所述感测头（7）与内径检测头（4）的圆形外缘（5）位于同一水平面；所述磁瓦罩壳组件（10）上设有卡脚（18），在该磁瓦罩壳组件（10）相对于内径检测头（4）在竖直方向运动时进行限位，该卡脚（18）与磁瓦（6）的下缘之间间隔距离。
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