[实用新型]一种EBR挡板有效
| 申请号： | 201320017864.5 | 申请日： | 2013-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN203037997U | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 李玉华 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 常亮 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种EBR挡板，包括一板体和设于所述板体同一侧面的至少一条导流槽，不仅可以对EBR清洗溶剂进行防溅，还可以防止清洗溶剂沿挡板的滴落。本实用新型的EBR挡板，通过增加导流槽，将设有导流槽的EBR挡板侧面置于清洗溶剂喷嘴侧，便于回溅的有机溶剂向晶圆外流，杜绝了有机溶剂对圆晶的污染，省却了设备维护，保证了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ebr 挡板 | ||
【主权项】：
一种EBR挡板，其特征在于：包括一板体（1）和设于所述板体（1）同一侧面的至少一条导流槽（2）。
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