[实用新型]一种可以双向使用的石墨舟有效
| 申请号： | 201320012481.9 | 申请日： | 2013-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN203179852U | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 梁恩伟;王晨光;李国庆 | 申请（专利权）人： | 湖北弘元光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 433000 *** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种可以双向使用的石墨舟，包括阵列设置的舟片，所述舟片上设置有硅片位和电极片，舟片上穿置有固定舟片的陶瓷棒；石墨舟左右两侧均设置有与电极片连接的上电极孔、下电极孔。本实用新型具有结构对称、设计新颖、方便可靠、可实施性强的特点，石墨舟左右两侧对称设计的上电极孔和下电极孔可以避免因石墨舟方向装反导致的无法正常镀膜或者镀膜失败，改进后的石墨舟不分正反面，消除了潜在的失效隐患，提高了镀膜产品的合格率。本实用新型可降低因石墨舟装反导致的镀膜不良，一定程度上降低了生产成本，提高率生产效率，具有很好的经济效益和推广价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可以 双向 使用 石墨 | ||
【主权项】：
一种可以双向使用的石墨舟，包括阵列设置的舟片，其特征是所述舟片上设置有硅片放置位和电极片，各舟片上均穿置有固定舟片的陶瓷棒；石墨舟左右两侧均设置有与电极片连接的上电极孔、下电极孔。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
