[发明专利]基板加热装置和方法有效
| 申请号： | 201310752561.2 | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103743254A | 公开（公告）日： | 2014-04-23 |
| 发明（设计）人： | 覃事建 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | F27D19/00 | 分类号： | F27D19/00 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 胡海国 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板加热装置，包括加热炉、置放在该加热炉中的平台和置放在平台上待加热的基板，以及设置在基板上方用于加热基板的多个间隔设置的加热器，还包括分别固定在多个加热器上方反射片，以及固定在加热炉的炉壁的内表面上用于控制反射片转动的转动控制器。本发明还公开了一种基板加热方法。采用本发明所公开的方案，使基板上各区域的温度达到均匀，从而实现了精确控制基板温度的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 加热 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基板加热装置，包括加热炉、置放在该加热炉中的平台和置放在平台上待加热的基板，以及设置在所述基板上方用于加热基板的多个间隔设置的加热器，其特征在于，还包括分别固定在多个所述加热器上方反射片，以及固定在所述加热炉的炉壁的内表面上用于控制所述反射片转动的转动控制器。
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