[发明专利]探针膜厚测量机坐标补正方法及装置

摘要

本发明涉及一种探针膜厚测量机坐标补正方法及装置，该方法包括以下步骤S1、在探针膜厚测量机的基座上固定定位补正片，定位补正片位于产品检测区域之外；S2、移动探针至定位补正片，记录探针位置为第一坐标；S3、按照第一坐标驱动探针，记录驱动探针后的位置为第二坐标；S4、记录第二坐标相对于定位补正片的偏差值为校正偏移值；S5、按照校正偏移值补正用于移动探针的坐标，再按照补正后的坐标移动探针。实施本发明的探针膜厚测量机坐标补正方法及装置，能够自动解决探针的机械坐标偏移导致的探测异常，大大减少调节探针的时间，节省人力的支出。

主权项

一种探针膜厚测量机坐标补正方法，其特征在于，所述补正方法提供三种补正模式：手动补正模式、日常补正模式、制程补正模式；在所述手动补正模式下，由检测人员发现探针移动的位置与控制命令发出的坐标位置不一致的时候，可以主动发起检测流程；在所述日常补正模式下，需要设定一个补正时间，当设备在该设定的时间内处于空闲状态时，自动进行补正，若在设定的时间内设备处于工作的状态，则等待设备到达空闲时再自行进入补正流程；在所述制程补正模式下，在切换使用新的制程时，选用对应于该进程的对应玻璃基板送入检测设备上进行检测和补正；当上述的三种模式中有任意一种模式被激活后，所述探针膜厚测量机进行坐标补正；所述补正方法包括以下步骤：S1、在探针膜厚测量机的基座上固定定位补正片，定位补正片位于产品检测区域之外；S2、移动探针至所述定位补正片，记录探针位置为第一坐标；S3、按照第一坐标驱动探针，记录驱动探针后的位置为第二坐标；S4、记录第二坐标相对于定位补正片的偏差值为校正偏移值；S5、按照校正偏移值补正用于移动探针的坐标，再按照补正后的坐标移动探针；其中，所述步骤S2包括移动探针至多个定位补正片上，分别记录探针移动到每个定位补正片时的第一坐标；所述步骤S4包括记录每个第二坐标相对定位补正片的偏差值，取所有的偏差值的平均值为校正偏移值；其中所述步骤S2还包括当第一坐标的数值超出了设定范围，停止自动补正，并发出警报；所述步骤S4还包括当校正偏移值大于设定阈值时，停止探针移动并发出警报。