[发明专利]碳纳米管阴极的制备方法

摘要

本发明涉及一种碳纳米管阴极的制备方法，对不锈钢衬底表面进行抛光处理，在不锈钢衬底表面上形成具有一定粗糙度的粗糙表面；不锈钢衬底放入磁控溅射室，对磁控溅射室抽真空至预定真空度，在粗糙表面磁控溅射预定厚度的钛过渡层，将溅射有钛过渡层的不锈钢衬底放入化学气相沉积室，向化学气相沉积室通入乙炔，乙炔在衬底上化学气相沉积以形成碳纳米管；在真空环境下对形成的碳纳米管进行退火处理。退火处理时，钛与碳纳米管和衬底反应，将碳纳米管和衬底有机的结合，增强了二者的结合强度，减小了界面接触电阻，增强了电子转移能力，碳纳米管阴极中的碳纳米管使用上述方法制备，能提高碳纳米管阴极的性能。

主权项

一种碳纳米管阴极的制备方法，其特征在于，对不锈钢衬底表面进行抛光处理，以在所述不锈钢衬底表面上形成具有一定粗糙度的粗糙表面；将抛光处理好的不锈钢衬底放入磁控溅射室，对磁控溅射室抽真空至预定真空度，在所述粗糙表面磁控溅射预定厚度的钛过渡层，之后将溅射有钛过渡层的不锈钢衬底放入化学气相沉积室，向所述化学气相沉积室通入乙炔，乙炔在所述衬底上化学气相沉积以形成碳纳米管；在对所述磁控溅射室加温时，向所述磁控溅射室充入氩气，并且在溅射钛的过程中，逐渐增加所述衬底的偏压；在真空环境下对形成的所述碳纳米管进行退火处理。