[发明专利]低温下真空校准装置及方法有效
申请号: | 201310724806.0 | 申请日: | 2013-12-24 |
公开(公告)号: | CN103808457A | 公开(公告)日: | 2014-05-21 |
发明(设计)人: | 孙雯君;冯焱;张伟文;赵澜;董猛;马奔;王迪;马亚芳 | 申请(专利权)人: | 兰州空间技术物理研究所 |
主分类号: | G01L27/00 | 分类号: | G01L27/00 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 孟阿妮 |
地址: | 730013 甘*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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摘要: | 本发明提供一种低温下真空校准装置及方法。其中,低温下真空校准装置,包括第一管路、校准室及低温室,所述第一管路的一端与所述校准室连通、另一端伸入至所述低温室内用于连接被校真空计,所述低温室内设置有温控板,所述低温室外设置有制冷机,所述制冷机的制冷头与所述温控板热传导连接,所述校准室通过第二阀门连接有抽气系统,所述校准室连接有标准真空计。上述方案,通过制冷机及温控板控制低温室内的温度,以获得被校真空计在所需温度下的校准因子,在相应的温度条件下使用该被校真空计时使用该校准因子来校准所述被校真空计,进而提高了被校真空计准确性,降低了测量的不确定度。 | ||
搜索关键词: | 低温 真空 校准 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种低温下真空校准装置,其特征在于,包括第一管路、校准室及低温室,所述第一管路的一端与所述校准室连通、另一端伸入至所述低温室内用于连接被校真空计,所述低温室内设置有温控板,所述低温室外设置有制冷机,所述制冷机的制冷头与所述温控板热传导连接,所述校准室通过第二阀门连接有抽气系统,所述校准室连接有标准真空计。
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