[发明专利]真空泵有效
申请号: | 201310722728.0 | 申请日: | 2013-12-24 |
公开(公告)号: | CN103939368A | 公开(公告)日: | 2014-07-23 |
发明(设计)人: | 住本慎 | 申请(专利权)人: | 株式会社岛津制作所 |
主分类号: | F04D19/04 | 分类号: | F04D19/04 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人: | 寿宁;张华辉 |
地址: | 日本京都府京都*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种真空泵,增大定子叶片的刚性,且抑制因拉拔加工而在定子叶片的外周侧端部产生龟裂。静叶部(70)的静叶部主体(70A)、及多个定子叶片(71)通过拉拔加工而从平板一体地成形。定子叶片(71)中,相对于基端部(72),相反侧的侧端部(73)形成为上升斜率,在外周侧端部(75)及内周侧端部(76)设置着连结定子叶片(71)及静叶部主体(70A)的外周侧支撑部(75S)。在外周侧端部(75),从侧端部(73)至基端部(72)的中间形成着使定子叶片(71)从静叶部主体(70A)分离的切口(75K)。本发明提供的技术方案可以抑制伴随着塑性加工在外周侧支撑部产生龟裂,并且可以增大定子叶片的刚性。 | ||
搜索关键词: | 真空泵 | ||
【主权项】:
一种真空泵,包括积层着多段动叶部及静叶部的排气部,其特征在于:在经多段地积层的多个所述静叶部的至少一段所述静叶部中,设置着多个定子叶片及多个排气开口,所述多个定子叶片在周向上以规定的宽度呈放射状延伸,且相对于静叶部主体以规定的叶片角度倾斜,所述多个排气开口在径向上细长地形成,且通过所述多个定子叶片将气流从上游导向下游,且一段所述静叶部中的多个定子叶片各自在内周端侧通过内周侧支撑部而三维地连接于所述静叶主体部,在外周端侧通过外周侧支撑部而三维地连接于所述静叶主体部,且在所述外周侧支撑部的圆周方向前端部设置着切口。
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