[发明专利]螺旋泵级以及包含这种泵级的真空泵

摘要

本发明涉及一种用于真空泵的螺旋泵级，其特别旨在布置于真空泵（40）的附加侧入口（48）并且允许在所述附加侧入口获得改进的泵送速度。根据本发明，所述螺旋泵级包括向心（11）和离心（21）泵送通道，从而使气体从泵级的外周穿过第一组泵送通道泵送至泵级的中心，并且其从泵级的中心穿过第二组泵送通道泵送至泵级的外周。由于本发明的装置，来自前一泵级或布置在根据本发明的泵级的上游的主泵入口（42）的气体与来自附加侧入口（48）的气体都可以有效地由根据本发明的泵级泵送。

主权项

1.一种螺旋泵级，其包括：在其至少一个面上具有多个螺旋通道的定子环和高速旋转且布置成与所述定子环的所述面相对置的配合的转子盘，其中，所述泵级在所述定子环的内周设置有第一入口或主入口，在所述定子环的外周设置有出口，并且其中，所述泵级还包括在所述定子环外侧壁的附加侧入口，其中，所述定子环被分成两个圆形扇区，第一圆形扇区延伸至所述附加侧入口，第二圆形扇区在所述定子环的剩余部分上延伸，并且其中，所述多个螺旋通道包含：一个或多个向心泵送通道，其由相应的螺旋肋限定，并且在所述定子环的所述第一圆形扇区中从所述定子环外周的各自通道入口朝向所述定子环内周的各自通道出口延伸，以及一个或多个离心泵送通道，其由相对应的螺旋肋限定，并且在所述定子环的所述第二圆形扇区中从所述定子环内周的各自通道入口朝向所述定子环外周的各自通道出口延伸。