[发明专利]具有水平式多孔喷淋装置的光辅助MOCVD反应器有效
| 申请号： | 201310670277.0 | 申请日： | 2013-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN103603038A | 公开（公告）日： | 2014-02-26 |
| 发明（设计）人： | 李国兴;任泽龙;张宝林;李万程;汪薪生;郭峰 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | C30B25/14 | 分类号： | C30B25/14;C30B25/08;C30B25/10 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 张景林;王恩远 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种具有水平式多孔喷淋装置的光辅助型MOCVD反应器，属于超导薄膜制备技术领域。其包括上下两个腔，上腔为由灯罩（1）和隔离板（2）围成的灯腔，下腔为反应腔；反应腔由水平喷淋头（4）、反应腔侧壁（5）和反应腔底座（7）围成；水平喷淋头（4）为具有一定厚度的长方体形结构，其由两个进气口、一个混气腔、多个等径等间距小出气孔和圆柱形空腔组成，多个小出气孔的出口均设置在圆柱形空腔内，水平喷淋头（4）安装在反应腔侧壁（5）的上方并与之焊接在一起。使用水平喷淋头增加了进气的横向分布均匀性，配合可旋转的基座可以确保基片生长速度的径向均匀，从而可确保至少3片直径2英寸的超导外延片均匀生长。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 水平 多孔 喷淋 装置 辅助 mocvd 反应器 | ||
【主权项】：
一种具有水平式多孔喷淋装置的光辅助MOCVD反应器，包括上下两个腔，上腔为灯腔，由灯罩（1）和隔离板（2）围成；下腔为反应腔，其特征在于：反应腔由水平喷淋头（4）、反应腔侧壁（5）和反应腔底壁（7）围成；水平喷淋头（4）为具有一定厚度的长方体形结构，其由两个进气口、一个混气腔、多个等径等间距小出气孔和圆柱形空腔组成，多个小出气孔的出口均设置在圆柱形空腔内，水平喷淋头（4）安装在反应腔侧壁（5）的上方并与之焊接在一起。
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