[发明专利]形状测定方法及形状测定装置有效
| 申请号： | 201310631384.2 | 申请日： | 2013-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN103852048A | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 土居正照 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20;G01B11/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 雒运朴 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种形状测定方法及形状测定装置，其使触针沿着测定面平滑地扫描，从而实现高精度且快速的形状测定。重复包括平行移动和正交移动在内的测头(26)的相对于测定面的相对移动(步骤4、5)，该平行移动使触针(20)相对于测定面而向与测定面平行的方向移动指定的距离，该正交移动以在包括触针(20)的位置相对于测头(26)的位置的位移量和位移方向在内的触针位移矢量(Di)的测定面上使法线方向的大小成为预先确定的压入量的设定值(C)的方式，使测头(26)向根据当前的触针位置(Si)与过去的触针位置(Si-1)之差而算出的测定面的法线方向移动。 | ||
| 搜索关键词： | 形状 测定 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种形状测定方法，其中，准备触针，该触针借助来自测定面的测定力而被支承为能够相对于测头位移，重复包括平行移动和正交移动在内的所述测头的相对于所述测定面的相对移动，所述平行移动使所述触针相对于所述测定面而向与所述测定面平行的方向移动指定的距离，所述正交移动使所述测头向根据当前的触针位置与过去的触针位置之差而算出的所述测定面的法线方向移动，使得在包括所述触针的位置相对于所述测头的位置的位移量和位移方向在内的触针位移矢量的所述测定面上使法线方向的大小成为预先确定的压入量的设定值。
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