[发明专利]电容式传感器及组合电容式位移测量传感系统

摘要

本发明公开了一种电容式传感器及组合电容式位移测量传感系统，具有至少一个固定部件STATOR，具有电连接在一起的按预定的距离分布的m个导电极片的第一电容极片组，和电连接在一起的按预定的距离分布的m个导电极片的第二电容极片组，两组极片交替排列在电绝缘基底上；至少一个运动部件MOVER，具有n个接地电极片；固定部件STATOR的电容极片与运动部件MOVER的接地极片形成可变电容；运动部件MOVER以某种可控方式相对于固定部件STATOR运动改变可变电容器的重叠面积，使其电容量发生变化，可反映位移。还包括用于测量电容组电子信号、得到位移数据的信号处理系统；通过对极片形状和布局的设计得到可变电容之间的相互补偿减小电容间隙变化的影响，完成高精度大量程相对及绝对位移测量。

主权项

一种电容式传感器，其特征在于，包括：至少一个固定部件STATOR，每个固定部件STATOR包括：一个电绝缘基底，其上具有m个导电极片电连接在一起组成的第一电容极片组，和m个导电极片电连接在一起组成的第二电容极片组，第一电容极片组和第二电容极片组中极片的数目相等、形状相同，且交替、等间距地排列在所述电绝缘基底上；至少一个可相对于固定部件STATOR线性移动/转动的运动部件MOVER，运动部件MOVER的数量与固定部件STATOR的数量相同，每个运动部件MOVER包括：一个电绝缘基底，其上具有n个接地极片电连接在一起组成的接地极片组，所述接地极片的形状相同、等间距地排列在所述电绝缘基底上；n小于或等于m；其中，运动部件MOVER的每个接地极片在其运动方向的宽度大小，使其在移动或转动过程中，与所述固定部件STATOR中的第一电容极片组的一个电容极片和第二电容极片组的一个电容极片组成两个可变电容器，从而运动部件MOVER的接地极片组与固定部件STATOR中的第一电容极片组和第二电容极片组组成两个可变电容组。