[发明专利]一种硅锭铸造装置

摘要

本发明公开了一种硅锭铸造装置，该硅锭铸造装置包括坩埚和垫片，其中，坩埚用于容纳铸造硅锭的原材料，垫片放置于坩埚的底部，且该垫片背离坩埚底面的第一表面上设置有若干凹坑，凹坑在第一表面上均布，垫片的材料熔点高于硅锭材料的熔点；在硅锭制备过程中，垫片第一表面上设置的凹坑就充当了长晶初期的成核点，凹坑在第一表面上规则均布，使得硅锭长晶初期成核均匀，晶粒向上生长，最终整锭晶粒也较为均匀；这样，第一表面上的凹坑充当了硅锭长晶出气的成核点，长晶是否均匀与坩埚底部的温度无关，打破了坩埚底部温度对长晶均匀性的决定性影响，在无法改善坩埚底部温度均匀性时，提高晶体的成核规律性，从而提高长晶均匀性，进而提高硅锭品质。

主权项

一种硅锭铸造装置，包括坩埚，其特征在于，还包括放置于所述坩埚底部的垫片（1），所述垫片（1）背离坩埚底面（3）的第一表面上设置有若干凹坑（2），所述凹坑（2）在所述第一表面均布，且所述垫片（1）的材料熔点高于硅锭的材料熔点。