[发明专利]具有强吸收结构的高速SNSPD及其制备方法

摘要

具有强吸收结构的高速SNSPD及其制备方法，该SNSPD基于高折射率入射介质和空气腔结构，可以进一步提高超导纳米线的光子吸收率，与现有技术相比，本发明用相同材料和厚度的超导超薄膜制成纳米线的条件下，用更低的占空比就可以实现接近于100%的吸收率，这使得电子束曝光步骤的难度大大降低，这尤其对于超细纳米线的制备来说更为有利，而SOI衬底的采用则可以同时保证超导薄膜的高质量生长，不影响探测器的本征量子效率，另外，在保证同样大的有效探测面积的条件下，由于需要的纳米线的总长度显著减小，探测器的最高计数率可以得到提升，制备过程中发生缺陷的概率显著降低。

主权项

一种具有强吸收结构的高速SNSPD，其特征在于，包括金属薄膜反射镜（8），金属薄膜反射镜（8）下方有透明介质材料构成的上层谐振腔（9），上层谐振腔（9）下方为超导纳米线二（10），超导纳米线二（10）下方为外延单晶Si层（11），外延单晶Si层（11）下方为Si衬底二（12），Si衬底二（12）朝向外延单晶Si层（11）开有底层谐振腔二（13），Si衬底二（12）下方有防反射膜二（14）。