[发明专利]电子束流截面功率密度分布信号的尺度标定方法

摘要

发明公开了一种电子束流截面功率密度分布信号的尺度标定方法。电子束流在偏转线圈的驱动下高速周期性偏转扫描于传感器上表面，电子束流在偏摆扫描过程中进入小孔的电流被传感器收集，收集的电流信号被高速采集卡采集并进行信号处理，步骤如下：将高速采集卡设置成后置触发采集模式，并将其触发源设置为外部数字量触发源；对高速采集卡采集到的连续信号进行预分割，预分割后的信号段分别对应电子束流在传感器上的运动周期；对预分割后的信号进行中值滤波处理；将滤波后的信号序列投影到XOZ平面，根据信号强度阈值进行自动阈值分割；对阈值分割后的信号进行空间尺度标定。本发明能够实现原始时域信号与电子束流功率密度截面分布数据之间的转换。

主权项

一种电子束流截面功率密度分布信号的尺度标定方法，其特征在于，首先建立三维坐标系XYZ，其中XOY平行于传感器（3）的上表面，测试开始后，电子束流（1）在偏转线圈（2）的驱动下高速周期性偏转扫描于传感器（3）上表面，令电子束流（1）沿Y轴方向作锯齿状路径扫描，电子束流（1）在偏摆扫描过程中进入小孔（4）的电流被传感器（3）收集，收集的电流信号经过转换被高速采集卡（6）采集，对高速采集卡（6）采集到的信号进行信号处理，具体步骤如下：步骤1，设置高速采集卡（6）的采集模式和触发源：将高速采集卡（6）设置成后置触发采集模式，并将高速采集卡（6）的触发源设置为外部数字量触发源；步骤2，信号采集和预分割：对高速采集卡（6）采集到的连续信号进行预分割，预分割后的信号段分别对应电子束流（1）在传感器（3）上的运动周期；步骤3，信号中值滤波：对预分割后的信号进行中值滤波处理，滤除原始信号中的噪声；步骤4，信号阈值分割：将滤波后的信号序列投影到XOZ平面，根据信号强度阈值进行自动阈值分割；步骤5，空间尺度标定：对阈值分割后的电子束流截面功率密度分布信号进行空间尺度标定。