[发明专利]一种超导腔的制备方法

摘要

本发明主要涉及射频超导加速腔的制造。一种超导腔的制备方法，包括使用CAD软件生成超导腔模型，采用分层软件对其进行分层；使用真空系统为成型室提供真空环境；将超导材料粉末摊铺到成形室成型台上；根据超导腔切片层的软件模型描述，将电子束能量“打印”到粉末层上，产生超导材料切片层实体，该实体成为超导腔体的一部分；下一切片层又在第一个切片层实体上面继续被加工，一直到整个超导腔加工过程完成。本发明方法，缩短了超导腔研制周期；整个超导腔无焊缝，提高了超导腔研制的成品率；能保证超导材料的纯度；不受冲压成形条件的限制，可以提高超导腔的性能；制造过程中多余的超导材料粉末可以重复使用，降低了生产成本。

主权项

一种超导腔的制备方法，其特征在于包括以下步骤：（1）制备：1）原材料为超导材料粉末：粉末微粒粒度为小于50μm、纯度好于99%；2）使用CAD软件生成超导腔模型，采用分层软件对其进行分层，每个切片层描述确定高度为小于0.5mm的超导腔体的横截面；3）使用真空系统为成型装置内提供真空环境，真空室真空度好于1×10‑3Pa；4）将步骤1）的超导材料粉末摊铺到成型装置的超导腔的成型台上；5）使用控制系统，根据超导腔切片层的软件模型描述，将电子束能量“打印”到粉末层上，电子束流功率在50W‑4kW之间，电子束流强度为1‑50mA，产生超导材料切片层实体，该实体成为超导腔体的一部分；下一切片层又在第一个切片层实体上面继续被加工，一直到整个超导腔加工过程完成。