[发明专利]一种原位椭圆偏振测量装置

摘要

一种原位椭圆偏振测量装置，包括密封盖（100）上设置供偏振光入射与反射的入射孔（106）和反射孔（107），并在外开口处设置密封的入射透光口（108）和反射透光口（109），从而可以保持薄膜反应腔密闭状态下，在整个原子层沉积过程中随时测量薄膜厚度，并且通过光路孔的腔内开口与反应腔的进气口与出气口错开设置，使反应腔的气体流动不易进入光路孔，从而避免在光路孔内壁沉积反应物，无需复杂的定期清洗，整个测量装置结构简单、紧凑，使用方便。

主权项

一种原位椭圆偏振测量装置，包括密封盖（100）、反应腔（200）、起偏器（300）、检偏器（400）、沉积基片（500），其特征在于：所述密封盖（100）的上表面固定连接有柱状凸台（105），所述凸台（105）的纵轴线与密封盖（100）的上表面相平行，所述凸台（105）内沿纵向设置有倾斜的入射孔（106）和反射孔（107），所述入射孔（106）和反射孔（107）分别设在凸台（105）的中轴线的两侧并沿中轴线相对称，所述入射孔（106）的纵轴线与起偏器（300）发出的入射光相平行，所述反射孔（107）的纵轴线与射入检偏器（400）的反射光相平行，所述入射孔（106）和反射孔（107）的一端开口设在反应腔（200）的腔体内，另一端分别开口在凸台（105）的两个横端面上，并且在两个横端面开口处分别固定连接有密封的透光装置，所述入射孔（106）上的透光装置与入射光相垂直，所述反射孔（107）上的透光装置与反射光相垂直，所述反应腔（200）的底部设有进气口（201）和出气口（202），所述进气口（201）和出气口（202）在反应腔（200）顶部的对应位置分别位于入射孔（106）和反射孔（107）在反应腔（200）的腔内开口处的外侧。