[发明专利]一种金刚石/金属复合材料夹持杆及制备方法有效
申请号: | 201310566193.2 | 申请日: | 2013-11-13 |
公开(公告)号: | CN103594306A | 公开(公告)日: | 2014-02-19 |
发明(设计)人: | 于盛旺;申艳艳;高洁;宁来元;贺志勇;黑鸿君 | 申请(专利权)人: | 太原理工大学 |
主分类号: | H01J23/26 | 分类号: | H01J23/26;H01J23/27;H01J9/24 |
代理公司: | 太原华弈知识产权代理事务所 14108 | 代理人: | 李毅 |
地址: | 030024 *** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | 本发明公开了一种金刚石/金属复合材料夹持杆及制备方法,属于真空电子技术领域,涉及行波管用夹持杆,解决BeO等材料不能满足行波管的散热要求,而天然和人造金刚石大单晶材料成本高、制造困难,CVD自支撑厚膜成本高、易脆断、装配难的问题。一种金刚石/金属复合材料夹持杆,包括三层,上、下两层为CVD金刚石膜,中间为金属层,所述的金属层为包覆有粒度大小相近、晶体取向一致的人造金刚石颗粒的金属层,金刚石颗粒与上、下两层CVD金刚石膜相互连接。本发明制备时间较短,成本低,产品有较好的韧性,不容易脆断。 | ||
搜索关键词: | 一种 金刚石 金属 复合材料 夹持 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种金刚石/金属复合材料夹持杆,其特征在于,包括三层,上下两层为第一层CVD金刚石膜(3)和第二层CVD金刚石膜(7),中间为金属层(6),所述的金属层(6)为包覆着粒度大小相近、晶体取向一致的人造金刚石颗粒(5)的金属层,其中金属层中的金刚石颗粒(5)与第一层CVD金刚石膜(3)和第二层CVD金刚石膜(7)相互连接。
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