[发明专利]一种金刚石/金属复合材料夹持杆及制备方法有效

专利信息
申请号: 201310566193.2 申请日: 2013-11-13
公开(公告)号: CN103594306A 公开(公告)日: 2014-02-19
发明(设计)人: 于盛旺;申艳艳;高洁;宁来元;贺志勇;黑鸿君 申请(专利权)人: 太原理工大学
主分类号: H01J23/26 分类号: H01J23/26;H01J23/27;H01J9/24
代理公司: 太原华弈知识产权代理事务所 14108 代理人: 李毅
地址: 030024 *** 国省代码: 山西;14
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摘要: 发明公开了一种金刚石/金属复合材料夹持杆及制备方法,属于真空电子技术领域,涉及行波管用夹持杆,解决BeO等材料不能满足行波管的散热要求,而天然和人造金刚石大单晶材料成本高、制造困难,CVD自支撑厚膜成本高、易脆断、装配难的问题。一种金刚石/金属复合材料夹持杆,包括三层,上、下两层为CVD金刚石膜,中间为金属层,所述的金属层为包覆有粒度大小相近、晶体取向一致的人造金刚石颗粒的金属层,金刚石颗粒与上、下两层CVD金刚石膜相互连接。本发明制备时间较短,成本低,产品有较好的韧性,不容易脆断。
搜索关键词: 一种 金刚石 金属 复合材料 夹持 制备 方法
【主权项】:
一种金刚石/金属复合材料夹持杆,其特征在于,包括三层,上下两层为第一层CVD金刚石膜(3)和第二层CVD金刚石膜(7),中间为金属层(6),所述的金属层(6)为包覆着粒度大小相近、晶体取向一致的人造金刚石颗粒(5)的金属层,其中金属层中的金刚石颗粒(5)与第一层CVD金刚石膜(3)和第二层CVD金刚石膜(7)相互连接。
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