[发明专利]石墨加热器及其制备方法无效
申请号: | 201310564225.5 | 申请日: | 2013-11-13 |
公开(公告)号: | CN103556222A | 公开(公告)日: | 2014-02-05 |
发明(设计)人: | 潘家明;何广川;陈艳涛 | 申请(专利权)人: | 英利集团有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B15/14;C30B28/06 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 吴贵明;张永明 |
地址: | 071051 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明公开了石墨加热器及其制备方法。其中石墨加热器包括石墨加热器主体和隔离层,隔离层包覆在石墨加热器主体的表面上,且隔离层材料的高温稳定性优于石墨。石墨加热器的制备方法包括以下步骤:提供石墨加热器主体;在石墨加热器主体的表面上形成高温稳定性优于石墨的隔离层。在本发明中通过在石墨加热器本体的表面上包覆隔离层,能够将石墨加热器本体与外界隔离开来。通过使用高温稳定性优于石墨的材料作为隔离层材料,能够避免石墨加热器在多晶硅铸锭和单晶棒拉制的过程中与铸锭炉或单晶炉中的气体发生反应,进而避免石墨加热器被腐蚀。 | ||
搜索关键词: | 石墨 加热器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种石墨加热器,其特征在于,包括:石墨加热器主体;隔离层,包覆在所述石墨加热器主体的表面上,所述隔离层材料的高温稳定性优于石墨。
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