[发明专利]一种周期形貌可调谐的微纳米结构表面大面积制备方法及加工系统有效
| 申请号： | 201310563497.3 | 申请日： | 2013-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN103706947A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 胡衍雷;黄文浩;李家文;褚家如 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | B23K26/067 | 分类号： | B23K26/067 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 杨学明;卢纪 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种周期形貌可调谐的微纳米结构表面大面积制备方法及加工系统。激光干涉加工方法是一种被广泛使用的微纳米加工手段，但是激光干涉加工方法的局限性在于仅能产生固定周期和形貌的干涉场强度分布，由此加工出的微纳米结构形貌单一，可调谐性差，难以满足特定设计的多功能表面的加工需求。针对传统激光干涉加工技术遇到的瓶颈，本发明在原有多光束激光干涉加工系统的基础上，引入波前调制器件来精确调控光束波前相位和振幅，从而产生预先设计的目标干涉光场强度分布，最终实现可变周期和形貌的大面积微纳米结构加工。本发明为非周期性多样化结构表面的大面积批量化制备提供了有效的途径。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 周期 形貌 调谐 纳米 结构 表面 大面积 制备 方法 加工 系统 | ||
【主权项】：
一种周期形貌可调谐的微纳米结构表面大面积制备方法，其特征在于，在普通多光束干涉加工系统中引入波前调制器件（11），对部分或全部空间光束波前的进行调控，可以实现目标光场强度周期和形貌的控制，将调制后的目标光场作用于光敏材料表面，即可形成对应的周期形貌可调谐的微纳米结构。
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