[发明专利]闭环压电薄膜泵及其流量控制方法

摘要

本发明公开了一种闭环压电薄膜泵及其流量控制方法，闭环压电薄膜泵包括压电振子、流量传感器、压电泵基体、电路控制模块以及控制流体运动方向的进液阀与出液阀，压电泵基体设有管路以及形成于压电泵基体内的泵腔，所述压电振子、进液阀、出液阀均安装于压电泵基体上，流量传感器和压电泵基体集成为一整体结构，微通道和出液阀之间设有流量滤波器，流量滤波器控制流体的压力使流体匀速流入流量传感器中。本发明闭环压电薄膜泵体积小、驱动流体的精度高、可加工性好且一致性好。

主权项

一种闭环压电薄膜泵，其包括压电振子、流量传感器、压电泵基体、电路控制模块以及控制流体运动方向的进液阀与出液阀，所述压电泵基体设有管路以及形成于压电泵基体内的泵腔，所述压电振子、进液阀、出液阀均安装于压电泵基体上，所述流量传感器和压电泵基体集成为一整体结构，所述流量传感器设有一个用以接收流体的微通道及一个信号转换模块，所述微通道在出液阀开启时与泵腔连通，所述流量传感器检测流体的体积并将检测结果转化成电信号后反馈给电路控制模块，所述电路控制模块根据反馈的流量信号和目标流量信号比较后控制压电振子的运动变形量，其特征在于，所述微通道和出液阀之间设有流量滤波器，所述流量滤波器控制流体的压力使流体匀速流入流量传感器中。