[发明专利]一种用于纳米压印的复合模板及其制备方法无效
| 申请号： | 201310545363.9 | 申请日： | 2013-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN103576449A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 陈辉婷;胡昕;袁长胜 | 申请（专利权）人： | 无锡英普林纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 李媛媛 |
| 地址： | 214192 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于纳米压印技术领域，具体公开了一种用于纳米压印的复合模板及其制备方法，目的在于制作出一种尺度小、面积大、易于脱模、可重复使用的纳米压印模板。首先通过热压印制备弹性体薄膜；其次通过热压印在弹性体薄膜表面获得纳米结构；再通过PECVD的方法在该纳米结构上沉积一层二氧化硅渐变层；最后用氯硅烷进行防粘，从而制得复合模板。本发明的复合模板具有二氧化硅层，其较高的弹性模量保证了高的分辨率，而弹性较好的弹性体层提高了压印时与衬底贴合的紧密性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 纳米 压印 复合 模板 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于纳米压印的复合模板，包括弹性体的结构模板，其特征在于，在弹性体的结构模板上依次制备有二氧化硅渐变层和防粘层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡英普林纳米科技有限公司，未经无锡英普林纳米科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310545363.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种光固化以及热固化树脂组合物
- 下一篇：一种光学邻近矫正装置及矫正方法
