[发明专利]填料式氯硅烷冷凝储存设备有效
申请号: | 201310542521.5 | 申请日: | 2013-11-05 |
公开(公告)号: | CN103542257A | 公开(公告)日: | 2014-01-29 |
发明(设计)人: | 李仕勇;平述煌;曾亚龙;陆大军;闫日春;赵生艳;王金;罗平;李涌;辜锋;李俊朝;余虹呈 | 申请(专利权)人: | 昆明冶研新材料股份有限公司 |
主分类号: | F17D1/08 | 分类号: | F17D1/08;B01D5/00 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 贾玉姣 |
地址: | 655011 云南省昆*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | 本发明公开了一种填料式氯硅烷冷凝储存设备,用于对多晶硅生产中的含氯硅烷的尾气中的氯硅烷进行回收,所述储存设备包括:冷凝器,所述冷凝器的上部具有冷媒入口且下部具有冷媒出口,顶部具有不凝性气体出口;储存罐,所述储存罐设在冷凝器下方且与冷凝器连通,储存罐的中部具有用于通入尾气的热媒入口,底部具有冷凝液出口,储存罐的下部具有氮气接口,氮气接口位于冷凝液出口上方;以及填料式塔板,填料式塔板设在储存罐内且位于热媒入口的上方。根据本发明的储存设备,可以起到一定的除杂作用,提高冷媒冷量的利用率,大大降低设备的制造成本,最终降低了尾气中氯硅烷的回收成本。同时,还起到一定的精馏塔提纯作用。 | ||
搜索关键词: | 填料 硅烷 冷凝 储存 设备 | ||
【主权项】:
一种填料式氯硅烷冷凝储存设备,用于对多晶硅生产中的含氯硅烷的尾气中的氯硅烷进行回收,其特征在于,所述填料式氯硅烷冷凝储存设备包括:冷凝器,所述冷凝器的上部具有冷媒入口且下部具有冷媒出口,顶部具有不凝性气体出口;储存罐,所述储存罐设在所述冷凝器下方且与所述冷凝器连通,所述储存罐的中部具有用于通入所述尾气的热媒入口,底部具有冷凝液出口,所述储存罐的下部具有氮气接口,所述氮气接口位于所述冷凝液出口上方;以及填料式塔板,所述填料式塔板设在所述储存罐内且位于所述热媒入口的上方。
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