[发明专利]一种高通道无热型阵列波导光栅的AWG制作方法

摘要

发明公开了一种高通道无热型阵列波导光栅的ＡＷＧ制作方法，包括以下步骤：（1）组成曲线形ＡＷＧ芯片；（2）将曲线形ＡＷＧ芯片粘贴并固化在金属底座上；（3）将固化在夹层上的曲线形ＡＷＧ芯片固定在芯片夹具上，进行紫外胶固化；（4）将固化在夹层上的曲线形ＡＷＧ芯片沿分割线切割线割将ＡＷＧ芯片切开成一个直线槽，将第二部分ＡＷＧ芯片与基板粘接固定在一起；（5）将直线槽点上UV硅胶；（6）将螺杆安装在金属底座上，调节螺母使AWG中心波长为ＩＴＵＴ波长，打上螺纹胶；（7）将制作的无热ＡＷＧ从夹具上取下，制作完成。本发明方法的AWG具有集成度高、通道数目多、插入损耗小，易于批量自动化生产等优点。

主权项

一种高通道无热型阵列波导光栅的ＡＷＧ制作方法，其特征在于，包括以下步骤：     （1）采用输入波导、输入平板波导、阵列波导、平面波导和输出波导组成曲线形ＡＷＧ芯片；    （2）采用夹具及粘接胶，将曲线形ＡＷＧ芯片粘贴并固化在金属底座上；    （3）将固化在夹层上的曲线形ＡＷＧ芯片固定在芯片夹具上，将输入光纤阵列和输出光纤阵列固定在光纤阵列夹具上并分别放置在六维微调架上，进行与曲线形ＡＷＧ芯片的输入波导和输出波导的耦合调试后，进行紫外胶固化；    （4）将固化在夹层上的曲线形ＡＷＧ芯片沿分割线切割线割将ＡＷＧ芯片切开成一个直线槽，将第二部分ＡＷＧ芯片与基板粘接固定在一起；    （5）用纯净水和清洗液将直线槽清洗干净，并点上UV硅胶；    （6）将螺杆安装在金属底座上，调节两边的螺母使AWG中心波长为ＩＴＵＴ波长，将螺母固定打上螺纹胶；    （7）将制作的无热ＡＷＧ从夹具上取下，制作完成。