[发明专利]一种多气体检测的红外气体传感器

摘要

本发明公开了一种多气体检测的红外气体传感器，将红外辐射源与多个热电堆传感器采用标准CMOS／MEMS工艺制备于同一个芯片，各芯片间通过热隔离墙、隔热沟道和真空晶圆级对准封装的方式，实现对共面传感器之间的热串扰的降低。采用单片集成工艺方法，对多传感器进行同时加工，采用不同窄波段滤波片分别组装于共面排布的多个传感器，实现对不同气体进行分光检测，在大大降低加工成本的同时，降低了热串扰和功耗，并且进一步提高了检测精度。

主权项

一种多气体检测的红外气体传感器，其特征在于，包括四个即敏感元，分别为：第一敏感元(1)、第二敏感元(2)、第三敏感元(3)和参比敏感元(4)，四个敏感元均布在以纳米表面修饰红外光源(6)为圆心的圆周上，其中第一敏感元(1)、第二敏感元(2)之间设置一个L型的隔热沟道(5)，第三敏感元(3)和参比敏感元(4)之间也设置一个L型的隔热沟道(5)；四个敏感元和纳米表面修饰红外光源(6)外围均由热隔离墙(7)实现相互之间的热隔离，降低热串扰的影响；参比敏感元的窄带滤波片波段覆盖第一敏感元(1)、第二敏感元(2)、第三敏感元(3)，通过参比敏感元对其他三个传感器的信号进行计算和补偿修正。