[发明专利]可旋转匀化器、激光应用光路和激光退火设备在审
| 申请号： | 201310495854.7 | 申请日： | 2013-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN103551731A | 公开（公告）日： | 2014-02-05 |
| 发明（设计）人： | 周伟;严利人;刘志弘;刘荣华;王全;张伟 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司;清华大学 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/06;B23K26/064 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;林彦之 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明的一种可旋转匀化器，包括：匀化部件，用于均匀化激光束；旋转装置，具有旋转套筒和内部空腔；其中，匀化部件的边缘外侧通过固定装置固定在内部空腔中；旋转套筒，构成内部空腔的腔体，用于带动匀化部件进行旋转；传动部件，设置于旋转装置上，且连接有驱动装置，在驱动装置的带动下使传动部件进行旋转，进而带动旋转装置进行旋转；固定支座，用于将所述旋转装置固定在光路板上。本发明的激光应用光路和激光退火设备，采用上述可旋转匀化器，避免激光束产生的毛刺长时间固定作用于匀化器的某一位置造成匀化器的损坏，延长了其使用寿命和降低了使用成本。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 匀化器 激光 用光 退火 设备 | ||
【主权项】：
一种可旋转匀化器，其特征在于，包括：匀化部件，用于均匀化所述激光束；旋转装置，具有旋转套筒和内部空腔；所述旋转套筒，构成所述内部空腔的腔体，用于带动所述匀化部件进行旋转；第一固定装置，所述匀化部件的边缘外侧通过所述第一固定装置固定在所述内部空腔中；传动部件，设置于所述旋转装置上，且连接有驱动装置，在所述驱动装置的带动下使所述传动部件进行旋转，进而带动所述旋转装置进行旋转；固定支座，用于将所述旋转装置固定在光路板上。
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