[发明专利]真空吸附力可调的转写辊及用该转写辊的薄膜贴附方法有效
| 申请号： | 201310482103.1 | 申请日： | 2013-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN103487959A | 公开（公告）日： | 2014-01-01 |
| 发明（设计）人： | 杨顺 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种真空吸附力可调的转写辊及用该转写辊的薄膜贴附方法，所述转写辊包括：辊体（20）及安装于辊体（20）的数个调节装置（40），所述辊体（20）内均匀分布有数个吸气管路（22），所述吸气管路（22）通过抽气装置进行吸气，每一调节装置（40）包括：设置于所述吸气管路（22）上的阀门（42）、连接于阀门（42）的压电陶瓷（44）及电性连接于压电陶瓷（44）的控制电路（46），所述控制电路（46）控制输入压电陶瓷（44）的电场大小，压电陶瓷（44）在电场作用下发生形变，阀门（42）在压电陶瓷（44）形变的作用下在吸气管路（22）内做插入或拔出动作，以控制吸气管路（22）吸气量的大小，进而控制吸气管路（22）真空吸附力的大小。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 吸附力 可调 转写 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
一种真空吸附力可调的转写辊，其特征在于，包括：辊体（20）及安装于辊体（20）的数个调节装置（40），所述辊体（20）内均匀分布有数个吸气管路（22），所述吸气管路（22）通过抽气装置进行吸气，每一调节装置（40）包括：设置于所述吸气管路（22）上的阀门（42）、连接于阀门（42）的压电陶瓷（44）及电性连接于压电陶瓷（44）的控制电路（46），所述控制电路（46）控制输入压电陶瓷（44）的电场大小，压电陶瓷（44）在电场作用下发生形变，阀门（42）在压电陶瓷（44）形变的作用下在吸气管路（22）内做插入或拔出动作，以控制吸气管路（22）吸气量的大小，进而控制吸气管路（22）真空吸附力的大小。
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