[发明专利]靶材焊接夹具和靶材焊接方法在审
申请号: | 201310478419.3 | 申请日: | 2013-10-14 |
公开(公告)号: | CN104551309A | 公开(公告)日: | 2015-04-29 |
发明(设计)人: | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;敖林 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
主分类号: | B23K3/08 | 分类号: | B23K3/08;B23K37/04;B23K1/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 骆苏华 |
地址: | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种靶材焊接夹具和靶材焊接方法,所述靶材焊接夹具包括:盖板和基座。所述基座包括上端开口的凹槽;盖板覆盖在凹槽上方,且在盖板和基座之间设有固定机构。在采用靶材焊接夹具进行靶材焊接过程中,背板放置在基座的凹槽内,且背板的焊接面朝上,靶材坯料的焊接面和背板的焊接面贴合,所述盖板覆盖在所述凹槽上方,且压住所述靶材坯料,之后进行焊接工艺,形成靶材组件。上述技术方案可将背板以及靶材坯料牢牢固定在基座和盖板之间,从而在焊接过程中,保持背板和靶材坯料的结构,有效抑制靶材坯料的溅射面出现形变。从而焊接工艺后,无需在对靶材组件进行后续的整平处理工艺,使得靶材组件一次成型,避免因整平处理工艺而造成靶材组件损伤。 | ||
搜索关键词: | 焊接 夹具 方法 | ||
【主权项】:
一种靶材焊接夹具,其特征在于,包括:盖板和基座;所述基座包括上端开口的凹槽;所述盖板覆盖在凹槽上方,且在所述盖板和基座之间设有固定机构。
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