[发明专利]一种实现高精度测量竖直移动方向的装置及方法有效
| 申请号： | 201310470249.4 | 申请日： | 2013-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN103486956A | 公开（公告）日： | 2014-01-01 |
| 发明（设计）人： | 张钟华;曾涛;李正坤;韩冰;鲁云峰;李世松 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | G01B7/00 | 分类号： | G01B7/00;G01B7/04 |
| 代理公司： | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人： | 郭韫 |
| 地址： | 100013 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种实现高精度测量竖直移动方向的装置及方法，属于测量领域。本发明装置包括电容传感器和精密变压器电桥；所述电容传感器的高电位电极和指零电极分别与所述精密变压器电桥连接；所述指零电极与竖直移动装置固定连接；所述指零电极与高电位电极之间电容量的变化能够指示出竖直移动装置的移动方向是否为铅垂方向。利用本发明测量移动方向与铅垂方向偏离的精度可达高达0.1μm。比起光学方法来，装置简单，操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 高精度 测量 竖直 移动 方向 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种实现高精度测量竖直移动方向的装置，其特征在于：所述装置包括电容传感器和精密变压器电桥；所述电容传感器的高电位电极和指零电极分别与所述精密变压器电桥连接；所述指零电极与竖直移动装置固定连接；所述指零电极与高电位电极之间电容量的变化能够指示出竖直移动装置的移动方向是否为铅垂方向。
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